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一台EUV光刻机一小时出产多少芯片?

作者:欧宝体育手机版app官网

发布时间:2023-04-28 06:53:17

浏览量:864

  且ASML的产能有限,2015年交给第一台EUV光刻机以来,截止至2020年末,总共才交给了100台,而2021年上半年总共交给16台,也就意味着到现在总共才交给了116台。

  TWINSCAN NXE:3400B支撑7纳米和5纳米节点的EUV量产,NXE:3400B每小时处理晶圆数不低于125片。而新一代的NXE:3400C每小时处理晶圆数不低于170片,可用率超越90%。

  本年ASML开端交给新一代的EUV光刻机,型号为NXE:3600D,比较于NXE:3400C,供给15%至20%的出产力改善才能。

  咱们以最根底的,出货量最多的NXE:3400C来核算,每小时处理170片12寸的晶圆,而一片12寸的晶圆面积约是70659平方毫米,而一块华为麒麟9000芯片面积约是100平方毫米。

  理论上来讲,假如晶圆100%使用的线,但实践考虑到边角的切开,还有良率的问题,一块12寸的晶圆,可以切开麒麟9000芯片大约在450左右。

  所以一台ASML的NXE:3400C EUV光刻机,一小时就可以出产7.65万块麒麟9000芯片,再考虑到90%的可用率,那么也是6.885万块。1天24小时可以出产165.24万块芯片,一个月便是4957.2万片麒麟9000芯片,一年便是5.95亿片。

  可见,只需假如咱们可以买到一台ASML的NXE:3400C EUV光刻机,不需要最新的NXE:3600D,国内高端芯片的产能根本就可以确保了。

  假如买到最新的NXE:3600D,产能能再提高15%-20%,那么类似于麒麟9000这样的芯片,一年便是7亿多块芯片的产能。

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