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晶振片基本知识

作者:欧宝体育手机版app官网

发布时间:2023-09-29 19:55:21

浏览量:864

  薄薄圆圆的晶振片,来源于多面体石英棒,先被切成闪闪发光的六面体棒,再通过重复的切开和研磨,石英棒终究被做成一堆薄薄的(厚0.23mm,直径13.98mm)圆片,每个圆片经切边,抛光和清洗,最终镀上金属电极(正面全镀,反面镀上钥匙孔形),通过检测,包装就可以出厂运用。晶体的质量和寿数不只影响速率和厚度丈量的准确性,更重要的是还决议着受操控的进程能否成功完结。

  石英晶体若在晶片的两边施加机械压力,则在晶片相应的方向大将发生电场,这种物理现象称为压电效应。如果在晶片的南北极上加交变电压,晶片就会发生机械振荡,一起晶片的机械振荡又会发生交变电场。

  现在市场上常用的有两种频点,标称频率分别为5.000MHz、6.000MHz,依据膜厚操控仪的探头规划不同,选用不一样的电极形状。

  石英晶振片是晶振膜厚操控仪体系中的速率和厚度传感元件。这些晶体用于一切规范监控器或操控器以及单、双或多晶体传感器的线. 晶振片(Crystal Sensor )的电极资料

  晶振片的电极对膜厚监控至关重要,现在市场上供给三种规范电极资料:金、银和合金。 用户所镀的资料不同,需选用不同的电极资料产品。

  金:是最广泛运用的传统资料,它具有低触摸电阻,高化学稳定性,易于堆积。适合于镀低应力膜料,如镀Al Au Ag Cu。

  银:适合于镀高应力膜料,如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等。

  银铝合金:适合于镀介质光学膜,MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。

  石英晶体法监控膜厚,主要是运用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层,使晶振片的厚度添加,则晶振片的固有频率会相应的改变。

  晶体的基频越高,操控的活络度也越高,但基频过高时,晶体片会做得很薄,很薄的晶体片易碎,一般都会选用AT切型频率5~10MHz。选用AT切晶体片,其振荡频率对质量的改变极端活络,但却不敏感于温度的改变,具有精度高、活络度好等共同的优势,十分适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。

  1、银或银铝合金溶于各种酸,不适合再处理运用,必需完全除掉晶振片上的膜层和电极,从头寄回我司镀上电极。

  2、金不溶于硫酸,用户都能够自已做处理,去掉晶振片上膜层,整理洗刷洁净再运用,但重复运用次数不易太多,不然质量稳定性下降影响运用。

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